[发明专利]单晶硅直径测定法及其设备无效
| 申请号： | 91102921.4 | 申请日： | 1991-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1056165A | 公开（公告）日： | 1991-11-13 |
| 发明（设计）人： | 川岛章浩;佐藤晨夫;大川登志男 | 申请（专利权）人： | 日本钢管株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;C30B15/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 肖掬昌,曹济洪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测定单晶硅直径的方法和设备。在用CZ法提拉单晶的一规定转动周期的间隔内，用光学装置对熔融环的亮度分布进行取样，由此得出该提拉单晶的直径测定值，再用低通滤波器处理该直径测定值，以产生转换成时序直径数据的滤波器输出值，然后求出滤波器输出值的移动平均值，从而计算出直径值。本发明涉及的设备包括能完成上述测定方法的光学装置、一低通滤波器和计算装置。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 直径 测定法 及其 设备 | ||
【主权项】：
1、一种单晶硅直径测定法，用以测定相对于坩埚转动的提拉单晶的直径，其特征在于，该方法包括下列各步骤：所述提拉单晶在一规定时间转动时，每隔一段时间用光学装置对熔融环的亮度分布进行取样，以获取所述提拉单晶的直径测定值；用低通滤波器处理所述直径测定值，以产生转换成时序直径数据的滤波器输出值；求出所述滤波器输出值的移动平均值，以计算出所述提拉单晶的直径。
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