[发明专利]大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源

摘要

本发明涉及的大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源，是真空电弧离子镀膜机的核心部件，由主弧电源、阴极、含电磁线路的磁路、水冷和点弧极组成，特点主弧电源≥150A，电磁线圈为可调电流的电磁线圈，阴极为圆形阴极或复合阴极，在≥150A的大电弧电流和与之匹配的磁场下工作时，电弧弧根分裂为几个小弧斑，在几乎整个阴极表面上作多轨迹旋转，阴极表面烧蚀均匀，镀膜沉积速率提高2-3倍，采用环形阴极，横向磁场增加，弧斑旋转速度更高，能基本消除金属液滴，阴极材料利用率更高。

主权项

1.一种大电流多弧斑受控真空电弧蒸发源，由主弧电源、阴极、含电磁线圈的磁路、水冷和点弧极组成，其特征是主弧电源为≥150A的大电流电源：电磁线圈为可调电流的电磁线圈(11)；含电磁线圈的磁路由电磁线圈(11)和导磁材料制成的导磁导电杆(21)、导磁筒(20)、阴极座法兰(17)、阴极筒体(12)、可拆卸阴极法兰(10)、阴极压板(9)、下导磁环(6b)、上导磁环(6a)以及阴极(3)组成，阴极(3)为圆形阴极，可用钛金属制成，也可用其他金属或导电材料制成，其直径为60-150mm；绕制在线圈骨架(5)上的电磁线圈(11)套在导磁筒(20)外周，上端放有水密封盖(4)，位于阴极筒体(12)内部，阴极筒体(12)下端面和阴极座法兰(17)相接，上端放有阴极(3)，阴极座法兰(17)内部设有和阴极筒体(12)中的两个通水孔(27)相通的水冷空腔(28)，底部开有和端面垂直的盲孔，盲孔中装有和水冷空腔(28)相通的冷却水管(26)，由导磁或非导磁材料制成的对阴极(3)起绝缘作用的屏蔽极(7)点焊在上导磁环(6a)上，并由三个屏蔽极支撑螺杆(13)固定在主支撑杆(14)上，主支撑杆(14)由螺钉固定在位于阴极座法兰(17)上端面的绝缘密封法兰板(16)上，带内螺纹的下导磁环(6b)和带外螺纹的上导磁环(6a)螺纹连结，高温绝缘屏蔽环(2)镶嵌在上导磁环(6a)内；导磁筒(20)的内孔和阴极法兰(17)的内孔中套有导磁导电杆(21)，并用螺母将导磁筒(20)、电磁线圈(11)、水密封盖(4)固定在阴极座法兰(17)上的阴极筒体(12)内，垫圈(22)、密封圈(23)、导电片(24)固定在导磁导电杆(21)的下端。