[发明专利]一种电弧汽相淀积的装置

摘要

一种电弧汽相淀积的装置涉及电弧汽相淀积技术领域。本发明解决了利用有限的工作室内空间放置较多的基片，来提高空间的利用率的技术问题。本发明的主要技术特征是；阳极呈筒状或钟罩形，阴极呈柱形，阳极和阴极的长度基本一致，阳极以阴极为轴并同轴放置，基片位于阳极和阴极之间。在阳极和阴极之间的区域内可以施加磁场，用来约束和移动阴极表面上的弧斑，为了防止息弧，在阴极两端处施加了阻挡壁。这种设备可用于TiN膜的制备，也可用于制备其它膜。

主权项

1、一种电弧汽相淀积的装置：(1)阳极[1]呈筒状或钟罩形；(2)触发电极[2]可与阴极[7]接触；(3)一个直流电源[3]连接阳极[1]和阴极[7]，为电弧供电；(4)一个直流电源[4]连接触发电极[2]和阴极[7]，用于启弧；(5)基片[5]施加的电位相对于阳极[1]的电位为负并可调节，来控制轰击到基片[5]上的离子能量；其特征是：(6)阴极[7]为柱形，阳极[1]以阴极[7]为轴并按轴对称设置；(7)基片架[6]位于阳极[1]和阴极[7]之间。