[发明专利]一种非接触式硬盘表面粗糙度测量方法无效
| 申请号： | 91105893.1 | 申请日： | 1991-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1069804A | 公开（公告）日： | 1993-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈家壁;张正泽;王菊香;仉浆铭;姚彩仙;李柱 | 申请（专利权）人： | 华中理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B21/30 |
| 代理公司： | 华中理工大学专利事务所 | 代理人： | 骆如碧 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 非接触式硬盘表面粗糙度测量方法特别适用于超精加工表面粗糙度非接触测量，该方法用锯齿波调制相位实现移相法干涉测量，用电荷耦合固体成象器件扫描接受干涉图象，用微型计算机计算扫描各点初相位及微观轮廓高度，从而测量被测表面12以上全部国家标准的粗糙度参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 硬盘 表面 粗糙 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种非接触式计算机硬盘表面粗糙度测量方法，其特征为用锯齿波调制相位实现移相法干涉测量，用电荷耦合固体成象器件扫描接受干涉图象，用微型计算机计算扫描各点初相位及微观轮廓高度，从而测量12以上超精加工表面全部国家标准的粗糙度参数，即由锯齿波驱动压电陶瓷(PZT)使干涉显微镜的参考反射镜沿光轴方向产生线性位移和锯齿波式振动，从而形成线性相位调制，而移相产生的多幅干涉图象由电荷耦合固体成象器CCD阵线扫描接受采集，其信号送入计算机中处理。最终可得被测表面粗糙度国家标准的各种参数，各幅干移图象之间的象移步长由时钟计数电路实现，为达到上述目的，必须确保锯齿波驱动压电陶瓷与成象器CCD线阵图象采集同步工作。
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