[发明专利]一种加速度传感器无效
申请号: | 91111605.2 | 申请日: | 1991-12-19 |
公开(公告)号: | CN1073526A | 公开(公告)日: | 1993-06-23 |
发明(设计)人: | 石行 | 申请(专利权)人: | 北京市西城区新开通用试验厂 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08 |
代理公司: | 三友专利事务所 | 代理人: | 朱黎光 |
地址: | 10003*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种内装集成电路和霍尔器件的加速度传感器,是在金属壳体内的上侧固装悬丝,在悬丝的另一端悬挂有用稀土永磁材料制成的磁摆,磁摆的下方是稀土永磁材料的静磁体,在磁摆与静磁体之间有其上刻有薄膜霍尔器件的集成电路硅片,壳体下侧引出有多个金属插针。该敏感器结构简单,灵敏度极高,体积小巧,性能稳定,使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 一种 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种内装集成电路的、用霍尔器件制作的加速度传感器,包括有壳体、霍尔器件、集成电路和磁摆,其特征是:用钢丝制作的悬丝一端固装在金属壳体的上侧,另一端悬挂有用稀土永磁材料制成的磁摆,在该磁摆的下侧是其上刻有薄膜霍尔器件的集成电路硅片,该硅片放置在用稀土永磁材料制成静磁体的顶部,金属壳体的下侧则引出有多个金属插针。
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