[实用新型]多元素填充式组合靶无效
| 申请号： | 91217202.9 | 申请日： | 1991-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN2112637U | 公开（公告）日： | 1992-08-12 |
| 发明（设计）人： | 吴北新;王仁;杨光耀;张云汉;王福柱 | 申请（专利权）人： | 北京钢铁学院分院;航空航天工业部第五研究院第五一一研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 航空航天工业部航天专利事务所 | 代理人： | 王兰凤 |
| 地址： | 100041 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 多元素填充式组合靶属于金属镀覆设备，该靶的特点在于用一种主要组元作为基材制备靶块上填充一种或多种其他组元材料，以获得各类不同组分的合金薄膜或该合金化合物薄膜，该种靶易加工，各组分比例组成方式较为灵活，且可直接冷却，成膜质量较高。 | ||
| 搜索关键词： | 多元 填充 组合 | ||
【主权项】：
1、一种用于金属材料镀覆设备的多元素填充式组合靶，其特征在于在主要组元为基材(1)制备的靶块上，有填充元素(2)，该填充元素(2)可为一种或多种其他组元材料，填充元素可均匀分布或非均匀分布，也可区域分布。
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