[实用新型]长寿命金属蒸汽真空弧离子源无效
| 申请号： | 91224854.8 | 申请日： | 1991-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN2112891U | 公开（公告）日： | 1992-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张荟星;张孝吉;周凤生;张胜基;李强;韩主恩 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | H01J27/10 | 分类号： | H01J27/10;H05H15/00;H05H5/00 |
| 代理公司： | 北京师范大学专利事务所 | 代理人： | 华明达 |
| 地址： | 100875*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种金属蒸汽真空弧离子源的新型阴极结构，触发电极的端面低于阴极和绝缘套的端面，绝缘套经过导电化处理，降低了触发电压，减少了金属蒸汽对绝缘套的污染，提高了触发次数和离子源工作的稳定性。由于采用了推进式阴极，使单个阴极的寿命延长了大约一个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 寿命 金属 蒸汽 真空 离子源 | ||
【主权项】：
1、一种长寿命金属蒸汽真空弧离子源，主要由彼此绝缘的阴极、触发电极、阳极和离子引出电极系统组成，其特征在于阴极、触发电极和经过处理的绝缘套三者的工作端面不在同一平面上，阴极的另一端与真空密封的推进机构连接。
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