[发明专利]管状阴极长电弧等离子体蒸发源无效
| 申请号： | 92100027.8 | 申请日： | 1992-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN1074247A | 公开（公告）日： | 1993-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;遇衍澄 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利事务所 | 代理人： | 付雷杰 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种管状阴极长电弧等离子体蒸发源，包括阳极壳体、阴极、半环形屏蔽及板套式屏蔽，阴极为可任意贯穿阳极壳体的通底或不通底的长柱管状体，阴极的上、下端均装有接线柱，阴极的空腔中注有冷却水，阴极的外部均套有半环形屏蔽及板套式屏蔽，蒸发量大，一个管状阴极相当于多个蒸发源，使现有镀膜装置的结构大大简化，节省了材料，降低了成本，使用起来很方便，是一种新型的蒸发源。 | ||
| 搜索关键词： | 管状 阴极 电弧 等离子体 蒸发 | ||
【主权项】：
1、一种管状阴极长电弧等离子体蒸发源，包括阳极壳体1，阴极2，半环形屏蔽3及板套式屏蔽4，阴极2为可任意贯穿阳极壳体1的通底或不通底的长柱管状体，阴极2的上、下端均装有接线柱5，阴极2的空腔13中注有冷却水，阴极2的外部均套有半环形屏蔽3及板套式屏蔽4。
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