[发明专利]物品表面疵病的激光检测法及其检测仪

摘要

“物品表面疵病的激光检测法及其检测仪”是用激光检测物品表面疵病的方法及其装置。该法是用激光对被测件表面进行扫描，通过去除被测件表面的零级谱，测定一级以上高次衍射频谱的光强并将其与标准比较来标定表面疵病及疵病等级的，激光检测仪是为实现该检测法而设计的检测装置，它能自动检测，标定物品表面的疵病，不仅适用于检测光学零件，也适用于检测钢材、陶瓷、纸张、塑料、布匹等表面疵病。本发明为正确、客观评价疵病开辟了新途径。

主权项

1.物品表面疵病检测法，其特征在于该检测法包括：使一束激光经过空间滤波器，得到一束经过空间滤波的光；用微处理机[MBS]控制一步进电机[D]驱动被测件旋转、平移或偏摆，使所得到的经过空间滤波的光经过一带孔反射镜的孔垂直入射到被测件表面，从被测件反射的零级反射光谱又通过上述带孔反射镜的孔返回；一级以上的高级次衍射频谱经透镜[L1]收集和反射镜[M2]反射，并经透镜[L2]及[L3]进入一光电探测器[G]；光电探测器的输出信号经放大及A/D变换后进入微处理机[MBS]进行运算，然后与事先存在微处理机内的代表标准尺寸的划痕、疵点的衍射频谱光强作比较来标定表面疵病及疵病等级。