[发明专利]一种气相缓蚀剂的生产工艺

摘要

本发明公开了一种气相缓蚀剂的生产工艺，其特征是以通式为(CnH2n+1)2NCH2CH2OH(n＝1-3)的叔胺与癸酸于60—70℃混合，另将上述叔胺或其混合物与苯甲酸混合，将混合产物按重量百分比40—60％∶60—40％混合，继而将合并混合物与去离子水或蒸馏水按重量百分比30—70％∶70—30％的比例混合，按每100份合并混合物添加0.1—0.2份氢氧化钠，调节pH值为7—9。上述工艺中的叔胺可以是二甲基乙醇胺、二乙基乙醇胺、二异丙基乙醇胺或含其中二种或二种以上组分的混合物，所采用的苯甲酸可由特丁基苯甲酸、水杨酸、甲基水杨酸或其中二种或二种以上组分的组合物替代。

主权项

1、一种气相缓蚀剂的生产工艺，其特征在于：以通式为(CnH2n+1)2NCH2CH2OH(n=1-3)的叔胺与癸酸于60-80℃混合，另将上述叔胺或其混合物与苯甲酸混合，将混合产物按重量百分比40-60%∶60-40%混合，继而将合并混合物与去离子水或蒸馏水按重量百分比30-70%∶70-30%的比例混合，按每100重量份合并混合物添加0.1-0.2份氢氧化钠，调节PH值为7-9。