[发明专利]真空蒸发设备无效
| 申请号： | 92110361.1 | 申请日： | 1992-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1064720C | 公开（公告）日： | 2001-04-18 |
| 发明（设计）人： | 早川菜;龟山诚;寺田顺司;铃木博幸 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曾祥凌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种真空蒸发设备，包括一真空容器，一蒸发源和一夹持装置。蒸发源位于真空容器内。一基片由位于蒸发源上方的夹持装置夹持。一防沉积板设置于设备内。真空容器由防沉积板划分成一包括蒸发源的部分和一包括夹持装置的部分。防沉积板带有位于蒸发源上方的孔。孔这样成形，即当从蒸发源看夹持装置时孔与夹持装置重叠。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
1．一种蒸发设备，包括：一真空容器；一设在所述真空容器内的蒸发源；一设在所述真空容器内所述蒸发源上方的用以夹持一塑料基片的夹持装置；一块将所述真空容器划分成一包括所述蒸发源的部分和一包括所述夹持装置的部分的防沉积板，所述防沉积板在所述蒸发源上方的一位置带有一个孔；其特征在于：通过夹紧机构将所述的防沉积板可移动地安装在所述的真空容器上；一靠近所述防沉积板的闸板，所述闸板可在直接位于所述蒸发源之上的位置和从直接位于所述蒸发源上方位置偏离的位置之间移动；防沉积板直接位于所述闸板上方10至50mm的位置；防沉积板上的孔的形状被设置成基本上所有穿过该孔从蒸发源来的被蒸发颗粒都到达夹持装置或基片上，因而由防沉积板防止被蒸发的颗粒沉积在防沉积板之上的真空容器的内壁上。
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