[发明专利]超薄透明介质膜厚度测量方法无效
| 申请号： | 92111134.7 | 申请日： | 1992-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1071004A | 公开（公告）日： | 1993-04-14 |
| 发明（设计）人： | 冼亮 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超薄透明介质膜厚度测量方法，属长度计量技术领域。本测量方法采用的光路由光源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成，反射棱镜置于被测透明介质薄膜上。光源发出的入射光进入反射镜和透明介质膜后，返回反射棱镜，经反射棱镜反射后的光线进入显微镜，随后进入光探测器。光探测器获得的各点反射光强度与该点的介质膜厚有一定函数关系，因而可根据各点反射光强度计算出该点透明介质膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 透明 介质 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种超薄透明介质膜厚度测量方法，其特征在于测量方法采用的光路由光源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成，所述的反射棱镜置于被测透明介质薄膜上；所述的光源发出的入射光进入反射棱镜和透明介质膜后，返回反射棱镜，经反射棱镜反射后的光线进入显微镜，随后进入所述的光探测器。
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