[发明专利]光纤热敏器件及其制造方法无效
| 申请号： | 92113322.7 | 申请日： | 1992-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1040050C | 公开（公告）日： | 1998-09-30 |
| 发明（设计）人： | 涂相征;涂鹏;李韫言 | 申请（专利权）人： | 李韫言;涂鹏;涂相征 |
| 主分类号： | H01L35/00 | 分类号： | H01L35/00;H01L35/34 |
| 代理公司： | 邮电部专利服务中心 | 代理人： | 王丽琴 |
| 地址： | 100009 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光纤热敏器件及制造方法。包括热膨胀元，其上的反光镜，具有几对定位壁骨的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，和插入通道中的单模光纤。其主要制造步骤是用各向异性腐蚀剂在硅衬底上腐蚀制作热膨胀元、通道及壁骨。反光镜是用化学气相法淀积在氧化层上，由氮化硅、钛、金层组合的反光层，用阳极粘结工艺粘结遮盖薄板，光纤插入通道中以共聚物通过热处理固定在芯片上并封闭通道口。具有成本低可批量制造的优点。$附图１Ａ为说明书摘要附图。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 热敏 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光纤热敏器件，其特征在于：包括制作在硅衬底上的热膨胀元，制作在热膨胀元上的反光镜，制作在硅片衬底上的光纤导向通道垂直地连接到反光镜处，光纤导向通道内有成对制作的停止壁骨和定位壁骨，和插入光纤导向通道中以停止壁骨拦阻和以定位臂骨定位的单模光导纤维。
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