[发明专利]薄膜分光1∶1折反射式光学系统无效
| 申请号： | 92113811.3 | 申请日： | 1992-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1030233C | 公开（公告）日： | 1995-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王之江;邹海兴;严琪华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英,张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种薄膜分光1∶1折反射式光学系统，它含有两组结构完全相同的消象差折射镜组，薄膜分束器和主反射镜。其中的一消象差折射镜组与主反射镜共光轴，另一消象差折射镜组的光轴垂直于主反射镜光轴，并两组消象差折射镜组以薄膜分束器的中心面为对称面对称地置放。本发明的光学系统主要用于精细图形照相复制，如用于光刻机上。具有工作视场能够充分被利用的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 分光 反射 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜分光1∶1折反射式光学系统，含有主反射镜(3)和消象差折射镜组，其特征在于有两组结构完全相同的消象差折射镜组(6)、(8)，其中一组消象差折射镜组(6)与主反射镜(3)共光轴，另一组消象差折射镜组(8)的光轴垂直于主反射镜(3)的光轴，在主反射镜(3)与消象差折射镜组(6)之间有一薄膜分束器(7)，薄膜分束器(7)的中心位置在主反射镜(3)的光轴上，它的中心面与主反射镜(3)的光轴夹有角度α，并它的中心面又为两组消象折射镜组(6)与(8)的对称位置的对称轴面。
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