[发明专利]高灵敏度的光电导膜及其制备方法无效

专利信息
申请号: 92114143.2 申请日: 1992-11-28
公开(公告)号: CN1087448A 公开(公告)日: 1994-06-01
发明(设计)人: 顾培夫 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/02 分类号: H01L31/02;H01L31/18;C23C14/00
代理公司: 浙江大学专利代理事务所 代理人: 张法高
地址: 3100*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种高灵敏度和快响应的光电导膜及其制备方法,特征是采用cds和cdse渐变混合膜。cds和cdse的重量比为3∶1,掺杂杂质Cl和Cu的克分子浓度比为3∶2。采用二源蒸发,基板温度为250~300℃,空气中老化温度为380~400℃。本发明的光电导膜具有暗电阻大,亮暗电导比高,响应速度快,白光灵敏度和分辨率高等优点。
搜索关键词: 灵敏度 电导 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种高灵敏度的光电导膜,其特征在于采用cds和cdse渐变混合膜,同时掺入双重杂质Cl和Cu。
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