[实用新型]整体式蒸发源电极无效
| 申请号： | 92203469.9 | 申请日： | 1992-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN2122147U | 公开（公告）日： | 1992-11-18 |
| 发明（设计）人： | 龚德明;何峰 | 申请（专利权）人： | 华新水泥厂 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 黄石市专利事务所 | 代理人： | 王敏 |
| 地址： | 435000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 整体式蒸发源电极，涉及真空金属蒸发镀膜工艺及其设备。目前使用的分体式电极因其结构复杂，电热特征差很难在实际中应用。本实用新型提出的整体式电极为T形圆柱体，下部钻有水冷孔，上部横切有蒸发舟槽，一体化设计，满足了镀膜工艺要求，极大延长电极寿命，具有成本低、效果好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 蒸发 电极 | ||
【主权项】：
整体式蒸发源电极，其特征是T型镀圆柱电极下端垂直钻有水冷孔，其边缘攻丝，上部横切凵型蒸发舟槽。
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