[实用新型]平板电容式位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种在强磁场下进行正常工作的位移测量技术，涉及大中型水轮发电机定，转子空气间隙的静、动态测量和其它类似环境条件下的位移测量技术。该平板电容式位移传感器由基板、屏蔽极板、中间绝缘层、工作极板、保护环和覆盖层组成，各层极板全部集成在用绝缘材料制成的基板上，成为厚度仅为几毫米、体积小、重量轻，适形性好的传感器，可以很方便地贴敷在被测物体上。是一种较理想的测量物体相对位移或距离的器件。

主权项

1、一种在强磁场环境条件下测量金属物体位移的平板电容式位移传感器，其特征在于它由基板、屏蔽极板、中间绝缘层、工作极板、保护环和复盖层组成；在用绝缘材料制成的基板上逐层敷设屏蔽极板、中间绝缘层、工作极板、保护环和复盖层；工作极板是由在宽度方向被分割成纵向竖条的敷铜层构成，纵向竖条在出线端连为一体；在同一层内，与工作极板四周边缘等距离处设有保护环，保护环亦为敷铜层并与工作极板等厚度；在工作极板与基板间敷有与工作极板厚度相等，形状、大小，材料相同的屏蔽极板，屏蔽极板与工作极板间设有中间绝缘层，屏蔽极板的出线端与保护环的出线端有层间电气联接；在工作极板表面用绝缘材料复盖，形成复盖层，上述各层在热态下粘、压成一整体。