[实用新型]直流电弧喷射沉积金刚石装置

摘要

一种直流电弧喷射沉积金刚石的装置，由真空室、装在真空室上的带由喷枪体支承的阴极、阳极的喷射装置及镀膜基底组成，阴极和阳极之间装有一个以上屏蔽罩，屏蔽罩底部装有屏蔽喷嘴，该屏蔽喷嘴有约束电弧等离子体和稳定电极上的电弧斑点的作用，从而不需要很大原料气体流量，原料气体通过电弧放电区距离长，这种装置沉积金刚石效果好。

主权项

1、一种直流电弧喷射沉积金刚石装置，由真空室1、装在真空室1上的带由喷枪体2支承的阴极4、阳极3的喷射装置6及镀膜基底5组成，其特征在于：阴极4和阳极3之间装有一个以上屏蔽罩7；屏蔽罩7底部装有屏蔽喷嘴8。