[发明专利]制备类金刚石复合振膜的方法

摘要

本发明涉及一种制备沉积有类金刚石膜层的复合声学振膜的方法。其特征在于将被沉积金属基体置于环形夹具中，并在真空室中作为负放电电极。运用含碳气体的直流辉光放电法进行类金刚石膜的沉积，它可在平板形，球冠形或其它复杂形状的多种基体材料表面进行单面或两面同时沉积出类金刚石膜形成复合振膜。因此，它可以平衡应力，提高复合膜的整体刚性，消除应力变形，提高沉积效率，改善了声器件的频响曲线。

主权项

1、一种制备金刚石复合振膜的方法，其特征在于它采取以下步骤：a.将被沉积的基体安装在环形夹具(4)中；b.把装有被沉积基体的夹具安置在真空室内的辅助电极(8)之间；c.对真空室抽真空到0.1Pa；d.通过气体导入管(10)引入工作气体；e.控制真空室压强在3—10Pa范围内恒定；f.接通直流高压电源(5)，使电极组件(3)、(4)处于负电势，作为负放电电极；g.在2000—3000V电压范围内，对被沉积基体轰击清洗5—10分钟；h.关闭直流高压电源(5)，并控制真空室内压强在10—50pa间恒定；i.接通直流高压电源(5)，并控制电压在800—1600V开始沉积，当沉积的厚度达到预定值时，关闭电源(5)。