[发明专利]在有机聚合物膜上形成图案的方法无效
| 申请号： | 93104958.X | 申请日： | 1993-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN1090767C | 公开（公告）日： | 2002-09-11 |
| 发明（设计）人： | Ｗ·Ｊ·内伯;Ｊ·Ｋ·霍尔茨普费尔 | 申请（专利权）人： | E·I·内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/11 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 张恒康 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在有机聚合物膜上形成图案的方法，它包括以下步骤(a)在基片上施加一层包含(a1)有机聚合粘合剂、(a2)烯不饱和单体和(a3)光引发体系的未形成图案的感光性的第一层；(b)在感光性的第一层上施加形成图案的第二层，它包含(b1)防止光化射线通过的对射线不透明材料和(b2)能改变感光材料在预定的冲洗液中的分散能力的扩散剂；(c)将感光性的第一层暴露于光化射线中，使该感光性的第一层中那些未被形成图案的第二层覆盖的部分发生光固化；(d)使扩散剂按图案扩散到其下的感光性的第一层中；和(e)用预定的冲洗剂洗涤，除去感光性的第一层中的在该冲洗剂中可分散的部分；步骤(c)是在步骤(d)之前、之后或同时进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 聚合物 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在有机聚合物膜上形成图案的方法，其特征在于，它包括以下步骤：(a)在基片上施加一层包含有机聚合粘合剂(a1)、烯属不饱和单体(a2)和光引发体系(a3)的未形成图案的感光性的第一层；(b)在感光性的第一层上施加形成图案的第二层，它包含防止光化射线通过的对射线不透明材料(b1)和能改变感光材料在预定的冲洗液中的分散能力的扩散剂(b2)；(c)将感光性的第一层暴露于光化射线中，使该感光性的第一层中那些未被形成图案的第二层覆盖的部分发生光固化；(d)使扩散剂按图案扩散到埋于其下的感光性的第一层中；和(e)用预定的冲洗剂洗涤，除去感光性的第一层中的在该冲洗剂中可分散的部分；步骤(c)是在步骤(d)之前、之后或同时进行的。
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