[发明专利]以扫描法布里珀罗共振器作为传感部分元件的光学压力传感器无效
| 申请号： | 93106162.8 | 申请日： | 1993-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1047663C | 公开（公告）日： | 1999-12-22 |
| 发明（设计）人： | Ａ·列托;Ａ·科霍伦;Ｍ·奥彭纳;Ｓ·坦梅拉 | 申请（专利权）人： | 外沙拉技术股份公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01B11/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴增勇,程天正 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 测力传感器包括主体１５，感应元件２７（用其相对主体的变位计算所加的力）和光检测组件１，８，该主体和元件组成短的法布里－珀罗共振器２１，２３。该组件包括宽谱光源和共振器的光强检测器８及光导３。扫描法布里－珀罗共振器４１，４９，５１位于光源和检测器之间，其光程周期可控的检测器显示强度最小或最大值，而相角检测元件在来自扫描共振器的强度信号为最小或最大时检测，以确定与施加在感应元件上的外力成比例的感应共振器４的光程。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 法布里珀罗 共振器 作为 传感 部分 元件 光学 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于测力的法布里-珀罗传感器，该传感器包括：主体部分(15)；弹性安装在所述主体部分(15)上的感应元件(27,37)，致动的所述感应元件作为一个受力元件可用其相对于主体部分(15)的变位计算出施加在所述感应元件(27,37)上的力，和决定感应元件(27,37)变位的光学检测装置(1,6,8)，所述光学探测装置(1,6,8)包括：通过光连接到所述感应共振器(21,23,33)的宽光谱光源(1)；通过光连接到所述光源(1)上的，用于检测由所述感应共振器(21,23,33)改变的光强的强度检测器(8)；光连接到所述感应共振器(21,23,33)和所述光源(1)上，带有可控光程的扫描法布里珀罗共振器(41,49,51)，其可控光程用于确定与施加在感应元件(27)上的力(F，F′)成比例的感应共振器(21,23,33)的光程，其特征在于两个法布里珀罗干涉器(4,6)是短的并且工作在反射模式下。
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