[发明专利]双层辉光多功能离子轰击炉

摘要

本发明创造公开了一种双层辉光多功能离子轰击炉。它包括由钟罩和底座组成的真空腔，在真空腔内设置由工作台和工件组成的第一阴极，灭弧装置，阳极，保温层，第一可调直流电源。在阳极内侧阴极外侧设有第二阴极，同时还设有第二可调直流电源，而两直流电源的正极共接于阳极，其负极分别与第一、二阴极相接。本装置具有渗速快，能耗省，变形小，表面质量好，无环境污染，温度容易调节，温度均匀性好，炉体结构简单等优点。

主权项

1、一种双层辉光多功能离子轰击炉，它包括由钟罩和底座[9]组成的真空腔，真空腔内设置由工作台[5]和工件[4]组成的第一阴极，阳极[7]，保温层[8]，第一可调直流电源[11]，其特征在于在阳极内侧阴极外侧设有第二阴极[3]，同时还设有第二可调直流电源[10]，而两可调直流电源[10]、[11]的正极共接于阳极，其负极分别与第二阴极和第一阴极相接。