[发明专利]圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法

摘要

本发明涉及一种圆形玻璃钝化二极体晶粒的制法。本发明制法的操作程序为扩散晶片被覆光阻剂、曝光及显影、蚀刻沟槽、去除光阻剂、栅层清洗、玻璃浆栅层被覆、高温玻璃化、镀镍及烧结、衬片及圆铁片定位胶合、喷砂及分离圆晶粒即得到圆形玻璃钝化二极体晶粒。本发明方法无须经过多种多次化学药剂的浸泡，不伤晶体表面，得到电特性稳定、圆形无尖端的二极体晶粒。

主权项

1、一种圆形板玻璃钝化二极体晶粒的制法，其特征在于具有下列步骤：a)在扩散晶片上被覆一层光阻剂后烘干；b)曝光及显影：在所说晶片的P面上罩设一层其表面设计有若干圆形透光圈的光罩，将该罩设有光罩的晶片送入曝光机感光并以显影剂显影；c)蚀刻沟槽：将显影后的晶片以酸液蚀刻，形成沟槽；d)去除光阻剂：将蚀刻完成的晶片浸入双氧水与硫酸混合液中，除去光阻剂；e)栅层清洗：将除去光阻剂的晶片在去离子水中清洗，除去其表面的混合液，使栅层显现，然后脱水、烘干；f)玻璃浆栅层被覆：以玻璃浆充分填实于蚀刻完成的圆形沟槽中；g)高温玻璃化：在石英管内，720℃下烧结约1小时，清洗；h)镀镍及烧结：在无电电镀液中镀镍后，在石英管内，650℃和通氮气氛下烧结，再镀镍一次；i)衬片及圆铁片定位胶合：将上端铺设有一层白蜡的玻璃衬片置于电热板上，使白蜡呈熔融状，将二次镀镍后的晶片放置在该铺设有白蜡的玻璃衬片上，并使白蜡涵盖晶片整面，再将预先粘设有若干小圆铁片的胶带正确地粘贴密合在晶片上，从电热板上取下该上端粘固有圆铁片及下端粘固有玻璃衬片的晶片，移至自然冷却的平板上冷却，将冷却后的晶片撕出胶带，送入喷砂机内喷砂；j)喷砂及分离圆晶粒：对晶片表面粘设有小圆铁片的一面进行喷砂，当喷砂完成后，在玻璃衬片上形成许多小圆形晶粒，将该玻璃衬片与许多小圆形晶粒浸泡在三氯乙烷中清洗，分离，并以磁铁将小圆铁片吸出，即得圆形玻璃钝化二极体晶粒。