[发明专利]脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法无效
| 申请号： | 93107530.0 | 申请日： | 1993-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1038262C | 公开（公告）日： | 1998-05-06 |
| 发明（设计）人： | 杨思泽;李兵;吴成;鲁伟;刘赤子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C8/36;H01J37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理的方法，该方法使用常规的受控核聚变产生等离子体装置，样品放在真空室内对着等离子体枪口处，在真空室内真空度达１０-1-10-3帕，等离子枪电极上施加１．５－１００ｋｖ电压，充电后一部分能量释放快速脉冲进气阀动作，工作气体通过等离子体枪被击穿形成等离子体束，经被加热和加速并携带电极材料和等离子体束流作用在被处理材料表面，该方法实现气固共掺入被处理材料表面，改变材料性能。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 高能量 密度 等离子体 用于 材料 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲高能量密度等离子体用于材料表面处理方法，使用常规的受控核聚变产生等离子体束的装置，把被处理的样品用夹持架夹住，放在真空室内对着等离子体枪口处，等离子体枪由两同轴电极或两平板电极做成，将真空室抽真空至10-1-10-3帕，然后在两电极上施加电压达1.5kv-100kv，充电后一部分能量释放使快速脉冲进气阀动作，工作气体快速通过等离子体枪被击穿，电流放电频率f＝0.01-1Hz脉冲宽度τ＝10-104μs，形成等离子体束，并被加热和加速，成为携带电极材料的束流，以定向速度v＝10-1000kv/s和密度n＝1013-1019cm-3，温度Te＝10ev-5kev的等离子体作用在被处理材料样品的表面。
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