[发明专利]在底物上形成带图案的聚酰亚胺涂膜的方法无效
| 申请号： | 93109059.8 | 申请日： | 1993-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1082725A | 公开（公告）日： | 1994-02-23 |
| 发明（设计）人： | 山本泰久 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 林蕴和 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，其中把通过采用含光敏基团的化合物对聚酰亚胺前体进行改性而获得的可光交联的聚合物组合物以这样一种方式涂敷在底物表面从而将形成一层涂膜，所得涂膜以成像方式曝光，用显影液溶解并除去未曝光的部分，然后把曝光部分中留下的涂膜加热并转变成聚酰亚胺树脂，在显影过程中采用包含1—30％(重量)二甲亚砜的显影液。 | ||
| 搜索关键词： | 底物上 形成 图案 聚酰亚胺 方法 | ||
【主权项】：
1、在底物上形成带图案的聚酰亚胺涂膜的方法，包括下列步骤：(1)把通过采用含光敏基团的化合物对来自芳香族四羧酸或相应的一元或二元酸酐和芳香族二胺的聚酰亚胺前体进行改性而获得的可光交联的聚合物组合物以这样一种方式涂敷在底物表面从而将形成一层涂膜，(2)涂膜以成像方式曝光，(3)采用显影液除去未曝光的部分，并且(4)加热曝光部分中留下的涂膜。
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