[发明专利]一种新型的高分子膜温湿敏元件

摘要

一种新型的高分子膜温湿敏元件，属于传感技术领域。本发明采用立体条形、复合电极平板形及腔体形三种新型结构的温湿敏元件及其工艺流程，较好的克服了现有的高分子膜电容型温湿敏元件的结构不完善、工艺制作困难，电容量小，灵敏度低，响应慢，成品率低的缺点。本发明的元件体积小，双功能，多种封装，高可靠性，可广泛应用于温度和湿度监测及控制领域。

主权项

1、一种新型的高分子膜温湿敏元件，由金属上电极，高分子膜介质层，金属下电极三层构成。其特征在于金属上电报，高分子膜介质层，金属下电极三层成相同宽度的立体条形结构，其金属上电极是由钛(或镍)6和铝7复合而成，金属下电极为金属4和硅衬底合金化层成复合下电极。其工艺流程为：硅片1清洗烘干→生成SiO2层2→蒸发下电极金属膜层4，并光刻成条形→与硅衬底合金化成欧姆接触层3，形成复合下电极→涂膜、固化、刻蚀高分子聚酰亚胺酸，形成与金属下电极相同宽度的高分子膜介质层8→依次蒸发上电极金属层钛6和铝7，并光刻成与金属下电极相同宽度的条形复合金属上电极→划片装座封管。