[发明专利]辉光放电装置和产生辉光放电的方法无效
申请号: | 93116412.5 | 申请日: | 1993-09-04 |
公开(公告)号: | CN1046318C | 公开(公告)日: | 1999-11-10 |
发明(设计)人: | 小·J·J·沃茨尼阿克;J·A·阿波隆尼;L·A·雷里亚;L·J·波特;F·L·库恩;E·R·库恩;B·A·李斯 | 申请(专利权)人: | 施乐公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,肖掬昌 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种辉光放电的装置包括一个细长的导电辉光条形电极;将电势加到辉光条形电极上从而产生离子的装置;产生从辉光条形电极流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管,安置得使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管有许多孔眼,离子即通过该孔眼在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼相应的闸板可起码部分地挡住离子流通过各孔眼,各闸板能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼的离子流。 | ||
搜索关键词: | 辉光 放电 装置 产生 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用以进行辉光放电的装置(1),包括:一个细长的导电辉光条形电极(3);用来将电势加到辉光条形电极(3)上从而产生离子的装置;用来产生从辉光条形电极(3)流向第二电极的离子流的装置;和一个挡管(5),安置得到使其部分挡住辉光条形电极与第二电极之间的离子流;所述挡管(5)有许多孔眼(6),离子即通过该孔眼(6)在辉光条形电极与第二电极之间流通;各孔眼(6)具有至少一个相应的闸板(53),该闸板(53)能起码部分地挡住离子流通过各孔眼(6),各闸板(53)能单独地移到多个位置,以便调节通过各孔眼(6)的离子流。
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