[发明专利]一种在硬质合金工具刃口涂复金刚石膜的方法

摘要

本发明提供了一种只在硬质合金工具尖角和刃口及其附近区域生长金刚石膜，获得高性能金刚石膜涂层硬质合金工具的制备方法，即在用聚焦的激光束处理硬质合金工具衬底的表面后采用聚乙烯溶液(或其它聚合物和塑料)进行掩膜处理。掩膜处理并用金刚石粉活化后，去除掩膜，即可用任何现有的化学气相沉积金刚石膜工艺实现只在硬质合金工具尖角和刃口及其附近区域生长金刚石膜的目的。

主权项

1、一种在硬质合金刀具上用低压化学气相沉积方法制备金刚石膜涂层工具的工艺，其特征在于采用特殊掩膜方法，只在工具的尖角和刃口及其附近区域沉积金刚石膜，即采用准分子激光，或二氧化碳激光，或YAG激光对硬质合金衬底进行照射，在采用准分子激光时，最佳的能量密度范围是：0.5-4.0J/cm2，脉宽100纳秒，频率10赫兹，然后采用聚乙烯或其它聚合物或塑料溶液涂复除工具尖角及刃口及其附近外的所有区域，干燥后即成为所要求的掩膜，经过掩膜处理的硬质合金衬底，随后应在悬浮细金刚石粉的水或有机溶剂的超声波浴中进行活化处理，金刚石粉粒度以20-40μm为好，时间为10-120分钟。