[发明专利]成象设备与制造成象设备的方法无效
| 申请号： | 93121499.8 | 申请日： | 1993-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1068453C | 公开（公告）日： | 2001-07-11 |
| 发明（设计）人： | 中材尚人;野材一郎;鲈英俊;佐藤安荣 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J31/12 | 分类号： | H01J31/12;H01J29/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨国旭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种成象设备，它包括基片、装于基片上的电子发射装置以及成象部件；电子发射装置有极间电子发射区且在极间加电压时可发射电子，成象部件在有电子束辐射时形成图象；成象部件上电子束在极间施压方向上的直径内方程式（Ⅰ）给定Ｓ＃-[1]=K＃-[1]·2＃+[d]（V＃-[f]/V＃-[a]）＃+[12]（Ⅰ），其中Ｋ＃-[1]为常数，０．８≤Ｋ＃-[1]≤１．０，d为基片与成象部件间距离，Ｖ＃-[f]为极间电压，V＃-[a]为成象部件电压。设计成象设备的成象部件面板上电子束在极间加压方向上的直径S＃-[1]的一种方法，该直径S＃-[１]设计为满足以上方程式（Ⅰ）。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 成象 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．一种具有基片和电子发射装置的成象设备，其中的电子发射装置装设在该基片上，在电极之间有一个电子发射区，並在电极之间施加电压时该装置发射电子，该成象设备还有一个成象部件，该部件在有电子束辐射时形成图象：该电子束在电极间施加电压的方向上在该成象部件上的直径S1由方程式(Ⅰ)给出：S1=k1·2d(Vf/Va)1/2(Ⅰ)其中K1是常数，且0.8≤K1≤1.0,d为基片与成象部件之间的距离，Vf为加到电极之间的电压，Va为加到成象部件上的电压。
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