[发明专利]显影液的配制装置和方法无效
| 申请号： | 93121504.8 | 申请日： | 1993-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1090522A | 公开（公告）日： | 1994-08-10 |
| 发明（设计）人： | 田口敏;末次益实;长濑勉;中川则一 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/04;G05B1/00;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 付康,程天正 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 显影液配制装置和方法。该显影液包括将未稀释的显影液与纯水混合得到的具有规定浓度的显影液成分；该装置包括装有用于容纳和混合未稀释的显影液和纯水的装置的混合槽，用于测量混合槽中显影液所含显影液组分的浓度的超声波浓度计，通过超声波浓度计输出的输出信号控制送入混合槽的未稀释的显影液和/或纯水的流量的流量控制装置，用于容纳和存储混合槽中含有规定浓度的显影液成分的显影液的存储罐。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 配制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于获得显影液的显影液配制装置，该显影液包括将未稀释的显影液与纯水混合得到的具有规定浓度的显影液成分，该装置包括装有用于容纳和混合未稀释的显影液和纯水的装置的混合槽，用于测量混合槽中显影液所含显影液组分的浓度的超声波浓度计，通过超声波浓度计输出的输出信号控制送入混合槽的未稀释的显影液和/或纯水的流量的流量控制装置，用于容纳和存储混合槽中含有规定浓度的显影液成分的显影液的存储罐。
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