[实用新型]衍射型光束列阵波前校正器无效
| 申请号： | 93226365.8 | 申请日： | 1993-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN2177953Y | 公开（公告）日： | 1994-09-21 |
| 发明（设计）人： | 郭晴;王汝笠;郭中原;傅艳红;陈高峰;王君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B26/00 |
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 高毓秋 |
| 地址： | 200083*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种衍射型光束列阵波前校正器。它通过计算机设计单元透镜的位相结构，经多次光刻和离子束刻蚀制作多位相级菲涅尔透镜列阵器件，配以精密的安装调节机构，可作为激光二极管列阵输出的波前校正器。衍射特征和制作方法决定了本实用新型的集光效率高，波前校正精确，且结构紧凑，安装调校方便。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光束 列阵 校正 | ||
【主权项】：
1、一种衍射型光束列阵波前校正器，包括位相型菲涅尔透镜列阵器件和配置的安装调节机构，其特征在于：a.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的最细线宽为0.5微米；最大列阵为200×200元；b.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件为多阶位相结构，位相量化级次为二阶，或四阶，或八阶，或十六阶；c.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的单元为方形，或矩形、六角形；单元线度为0.05-1.5毫米；d.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的基片为石英，或硅，或碲镉汞等半导体材料制成。
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