[发明专利]固态摄像装置及其制造方法无效
| 申请号： | 94101238.7 | 申请日： | 1994-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1089951C | 公开（公告）日： | 2002-08-28 |
| 发明（设计）人： | 下村幸司;佐野义和 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/148 | 分类号： | H01L27/148;G03F7/016;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在形成CCD的基片上的保护膜上面形成有透明填塞层和透明平坦膜层，使该保护膜表面平坦。在透明平坦膜层上面形成红、蓝、黄色的彩色滤光片。该彩色滤光片由合成感光性材料形成。由此可高精度地形成形状良好的彩色滤光片，又在分光特性上，可实现所有的彩色滤光片均匀。由此可得到优异特性的图像，而无因闪光性能、遮蔽性能及粉尘等不良情况引起的图像不良。 | ||
| 搜索关键词： | 固态 摄像 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种固态摄像装置，其特征在于，所述的固态摄像装置包括：在至少形成有光敏部的半导体基片上所形成的透明平坦膜层，及形成于上述光敏部及透明平坦膜层上面、由使用水作溶剂的合成感光性材料所形成的彩色滤光片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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