[发明专利]用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统

摘要

本发明涉及一种用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离的系统，属精密测量技术领域。该测距系统包括产生偏振方向正交的两个波长的激光器，实现双波长外差干涉的外差干涉仪，将外差信号进行光电转换的声光调制器以及外差信号的相位检测电路和数据处理单元。本发明的测距系统具有测量时间短、测量精度高、不易受环境影响、抗干扰能力强以及干涉仪结构简单等优点。

主权项

1、用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离系统，其特征在于该系统是从激光头发出的两束偏振方向相互垂直的线偏振光经过声光调制后被衍射，该衍射光通过扩束镜后被扩束准直，经声光调制器衍射后的零级光作为测量光束入射到测量靶镜，经测量靶镜反射后入射到分光镜上，经声光调制器衍射后的+1级光作为参考光，经反射镜反射后入射到上述分光镜上，并与上述测量光汇合形成外差干涉；从分光镜上出射两束光，一束光通过一具有偏振选择光电接收系统后获得一个波长的外差干涉信号，另一束光通过另一具有偏振选择光电接收系统后，获得另一波长的外差干涉信号，这二个外差干涉信号进入信号处理单元，即可获得被测距距离值。