[发明专利]半导体元件与聚合光波导元件相集成的方法和电-光器件无效
| 申请号： | 94102932.8 | 申请日： | 1994-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1094817A | 公开（公告）日： | 1994-11-09 |
| 发明（设计）人： | 德·道贝莱尔;彼得·马丁·西里尔;范·代勒;彼得·保罗 | 申请（专利权）人： | 阿克佐诺贝尔公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;H01L27/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 姜华 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及制作电-光器件的方法，它包括把半导体元件与聚合光波导元件相集成。根据本发明，借助外延分离(ELO)获得的半导体元件被嵌在波导器件中，该器件除了聚合光波导结构之外还包括适当的空腔。本发明还涉及可用ELO技术得到的集成电-光器件。特别地，它涉及一种集成电-光器件，其中聚合波导元件和半导体元件被集成在一个基片上，该基片是用与半导体元件不同的材料，最好是诸如硅之类的具有良好散热性的材料制成的。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 聚合 波导 集成 方法 器件 | ||
【主权项】：
1、一种制作电-光器件的方法，包括把半导体元件与聚合光波导元件相集成，其特征在于通过外延分离(ELO)而获得的半导体元件被嵌入一波导器件中，该波导器件除了聚合光波导结构之外还包括一适当的空腔。
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