[发明专利]四极质谱仪

摘要

一种四极质谱仪包括用以测量总离子电流的测量装置，在电子源灯丝四周具有一个电子反射栅极。该电子反射栅极反射由电子源灯丝发射的电子，并推动电子离开反射板和灯丝，并吸引正离子。当正离子接触到电子反射栅极时，在电子栅极处测量到感应电流。测得的电流表示穿过质谱仪的总离子电流。因此不需要测量总离子电流的总压力测量板，由于电子反射栅极的离子曝露表面积大于总压力测量板的离子曝露表面积，本发明改进了总压力的测量灵敏度。

主权项

1.一种质谱仪，用于测量存在该质谱仪中气体的一种或多种组分的相对质量，所述质谱仪包括用以限定一个空间的装置，使所述质谱仪中气体的一代表性样品处于该空间的内侧和外侧；还包括置于所述空间外侧用以产生电子的电子源装置；其特征在于所述质谱仪进一步包括：(a)电子推进装置，用以将所述电子源装置产生的电子推进到所述空间，使在所述空间的内侧和外侧都产生每种所述组分的正离子；(b)第一离子电流产生装置，用以从所述空间内侧产生的离子中产生第一离子电流，使该第一离子电流代表所述空间内侧的所述组分的相对量；(c)离子收集装置，用以收集在所述空间外侧产生的所述离子；(d)信号发生装置，用以发出一个作为由所述离子收集装置收集的离子和代表所述第一离子电流的函数的信号。