[发明专利]太阳能选择性吸收溅射涂层及其工艺方法无效
| 申请号： | 94105964.2 | 申请日： | 1994-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1097815A | 公开（公告）日： | 1995-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李守祥;李守禄 | 申请（专利权）人： | 李守祥 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 首都师范大学专利事务所 | 代理人： | 柳江 |
| 地址： | 100037 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种太阳能选择性吸收溅射涂层及其工艺方法，涉及金属材料的扩散处理领域。本发明是用氮加氧共同参加与铝阴极分子的反应，制成了由四层膜构成的对太阳能有选择性吸收的涂层，对太阳能的吸收率大，α＞93％，反射率ε＜0.06％，是太阳能选择性吸收溅射涂层的又一新突破。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 选择性 吸收 溅射 涂层 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
1、一种太阳能选择性吸收溅射涂层及其工艺方法，其特征在于：用氮加氧两种气体做为溅射出铝靶(阴极)的分子的反应气体以氩气为背景气体，在基体上镀一层氧加氮及铝的底膜，厚度为8×10-9m，再在底膜镀一层纯铝，厚度大于0.1×10-6m的的红外线防反射膜，在其铝原子数的比值加入一定比例的氮加氧混合反应气体按经验公式从一个最值变到最大值，相对反应气体每一种流量对应一定的镀膜时间，从而形成了折射率较高的有干涉效果的太阳能吸收层和最外层的阳光防反射膜。
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