[发明专利]去胶剂组合物无效
| 申请号： | 94110786.8 | 申请日： | 1994-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN1033464C | 公开（公告）日： | 1996-12-04 |
| 发明（设计）人： | 曹宝成;计峰;马洪磊;罗升旭 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23G5/032 | 分类号： | C23G5/032;G03F7/42 |
| 代理公司： | 山东大学专利事务所 | 代理人： | 孙君 |
| 地址： | 250100 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去胶剂组合物，包括重量百分比10-20％的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠和80-90％的下列有机溶剂之一或其任意比例的组合苯乙酮，松油醇，苯甲醇，月桂醇；还可加入脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷和去离子水，以降低去胶剂组合物的沸点；本发明去胶剂可有效的去除固体表面环化橡胶系列负性光刻胶，去胶工艺简单成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 去胶剂 组合 | ||
【主权项】：
1.去除固体表环化橡胶系列负性光刻胶的去胶剂组合物，其特征在于，包括重量百分比为10-15％的脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠A，1-5％的脂肪醇聚氧乙烯醚硅烷C，60-75％的有机溶剂B和余量的去离水；所述有机溶剂是下列之一或其任意比例的组合：苯乙酮，松油醇，苯甲醇，月桂醇。
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