[发明专利]线条倾斜测量误差自动补偿方法无效
| 申请号： | 94112044.9 | 申请日： | 1994-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1047438C | 公开（公告）日： | 1999-12-15 |
| 发明（设计）人： | 沈蓓军;邹海兴;丁生华;路敦武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G06K9/46 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向的倾斜角实现对测量误差自动补偿。采用本发明的方法可以减小系统测量误差，提高系统测量精度，操作程序简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 线条 倾斜 测量误差 自动 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1．一种线条倾斜测量误差自动补偿方法，采用由显微成象系统(1)，图象采集系统(2)，计算机(3)和监视器(4)构成的装置获得线条图象，采用数据曲线拟合的方法求角度α，其特征在于求得测量线条与测量方向的倾斜角α，按关系式D=d·Sinα补偿线宽测量值d，获取实际线宽值D。
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