[发明专利]一种制备超微量子器件的方法无效
| 申请号： | 94112234.4 | 申请日： | 1994-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1031851C | 公开（公告）日： | 1996-05-22 |
| 发明（设计）人： | 华中一 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 复旦大学专利事务所 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用扫描隧道显微镜(STM)操纵原子以制备超微(纳米级)量子器件的方法，其特点是用STM针尖在晶体表面按某一晶向刻出两条平行沟道，两沟道间的距离为1-3个原子，形成原子链(量子线)。然后，再用STM搬运一个原子放置于原子线上，构成开关器件。另一种方法是用STM在晶体表面刻出沟道后再搬入(填充)其他种类的原子到该沟道内，构成“分子夹层结构”。本发明制备的超微量子器件有清晰的固-固界面，可控制到一个原子的精度，可用于量子线的delta掺杂研究和量子器件集合效应研究，以及其他超微量子器件的基本过程研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 微量 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备超微量子器件的方法，利用扫描隧道显微镜操纵原子，其特征在于(1)用扫描隧道显微镜的针尖在晶体表面按某一晶向取走一排原子，使其成为一沟道，然后再在间隔1-3原子距离，按相同方向，平行地取走另一排原子，使其成为另一沟道，两沟道之间形成一个量子线；(2)再用扫描隧道显微镜的针尖搬迁一个原子放在量子线的某个原子上，使放置前后的量子线构成两个不同电子态，成为一个超微量子开关器件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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