[发明专利]含有非离子氟代烃表面活性剂的水性光刻胶无效
| 申请号： | 94113847.X | 申请日： | 1994-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1071910C | 公开（公告）日： | 2001-09-26 |
| 发明（设计）人： | 鲁贝脱·Ｋ·巴尔 | 申请（专利权）人： | 莫顿国际股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/032 | 分类号： | G03F7/032 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 吴惠中 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种水性可感光成象组合物或光刻胶，它包括一种具有足够羧酸官能度的胶乳粘合剂聚合物以使其能在碱性溶液中显影，一种可光聚合的单体组分、一种光引发剂化学品体系以及一种氟代脂肪族的氧乙烯加合物的表面活性剂。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 含有 离子 氟代烃 表面活性剂 水性 光刻 | ||
【主权项】：
1．一种可在水中生成的感光成象的组合物，其特征在于所述的组合物包括：(A)30-80重量％的具有酸值约在50-250之间的羧酸官能度的胶乳粘合剂聚合物；(B)含有15-50重量％的α,β-乙烯链的不饱和单体的一种组分；(C)0.1-25重量％的能产生游离基的光引发剂或光引发剂化学品体系；(D)1-40重量％的中和碱和/或聚醚聚氨酯组合的增稠剂，其数量是足以使所述的胶乳粘合剂聚合物形成稳定的乳液；以及(E)0.5-3.0重量％的具有化学式为CF3-(CF2)n-Y-Xm-Z的氟代脂肪族氧乙烯加成物，式中n=0-20,Y=SO2-N(C1-C10-烷基)，X=CH2-CH2-O或CH(CH3)-CH2-O,m=0-20，以及Z=CH2-CH2-OH或CH(CH3)-CH2-OH，所述的重量百分数为基于A-E组分的总重。
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