[发明专利]两级旋转真空泵无效
申请号: | 94115134.4 | 申请日: | 1994-09-08 |
公开(公告)号: | CN1065026C | 公开(公告)日: | 2001-04-25 |
发明(设计)人: | 矢作充;对比地通;中克德;立野俊一 | 申请(专利权)人: | 日本真空技术株式会社 |
主分类号: | F04C25/02 | 分类号: | F04C25/02;F04C23/00;F04C29/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王礼华 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种两级旋转真空泵,在串列连接的两级旋转真空泵中,直接空冷第1级泵(高真空侧)的气缸12,间接油冷第2级泵(低真空侧)的气缸22。其能防止产生朝被排气容器的油蒸气的逆流,防止因气缸内形不成油膜而发生机械烧熔,而且防止冷凝性气体液化。 | ||
搜索关键词: | 两级 旋转 真空泵 | ||
【主权项】:
1.一种两级旋转真空泵,包括:第1级泵,其位于高真空侧;第2级泵,其与第1级泵直接相连,并位于低真空侧;和泵壳,其贮存向所述第1级泵的第1气缸和所述第2级泵的第2气缸提供的油,其特征在于:所述第1级泵和所述第2级泵通过公共主轴直接与马达相连,所述第1级泵的所述第1气缸与大气相通,所述第2级泵的所述第2气缸配置在所述泵壳内,几乎全部浸没在所述的油中,所述第1气缸由空气直接冷却,而所述第2气缸由冷却用的油间接冷却。
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