[发明专利]射频激励二维列阵波导CO2激光器

摘要

射频激励二维列阵波导CO2激光器，主要由列阵波导1，射频电极2，接地水冷金属电极3，放电通道4，以及光学谐振腔5组成。结构特点有两块列阵波导，沿轴向放置在射频电极的两面，各列阵波导放电通道4的数量相同，尺寸形状对称一致；在射频电极上开有槽6与列阵波导中的放电通道相对应；每块列阵波导外面，分别设置水冷却接地金属电极，本激光器与一维列阵波导结构相比可进一步利用放电空间，提高激光器的输出功率，提高输出功率重量体积比，有利器件小型化。

主权项

1.射频激励二维列阵波导CO2激光器，由有放电通道的列阵波导、射频电极、水冷却接地金属电极以及光学谐振腔组成，其特征是列阵波导[1]分两块构成，各列阵波导中放电通道[4]对称一致；射频电极[2]设在两块列阵波导的中间，在射频电极上开有两侧相互沟通的槽孔[6]与两块列阵波导中放电通道相对应；两块水冷却接地金属电极[3]分别沿轴向设置在列阵波导的外面。