[发明专利]超声转换器阵列及其制造方法无效
| 申请号： | 94191059.8 | 申请日： | 1994-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN1046058C | 公开（公告）日： | 1999-10-27 |
| 发明（设计）人： | 米歇尔·Ｐ·芬斯特维德;约瑟夫·斯蒂芬·道格拉斯;盖伊·Ｒ·贾斯特 | 申请（专利权）人： | 帕罗尔设计公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 超声转换器阵列（１０）和制造它的方法，它具有沿着一条阵列轴线（Ａ）排列的多个转换元件（１２）。各个转换元件（１２）包括压电层（２２）和一或多个声学匹配层（２４，２６）。压电层（２２）具有覆盖有前电极（４２）的凹进前表面和覆盖有后电极（４０）的后表面。各个转换元件（１２）的形状得到选择，以使之被机械聚集到成象平面中。一个支撑部分（８０）沿着阵列轴线（Ａ）以预定的方式保持这多个转换元件（１２），从而使各个元件（１２）被机械聚焦到该成象平面中。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 转换器 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．用于制造超声转换器阵列(10)的方法，包括：制备一个中间组件，该中间组件具有压电基底(30)、基本上均匀厚度的声学匹配层(24)和前支撑板(64)，其中，压电基底(30)的前表面由前电极覆盖，其后表面由后电极所覆盖，且声学匹配层(24)具有一个前表面和一个后表面，其中压电基底的前表面和声学匹配层的前表面是沿着与一条阵列轴线(A-A)相垂直的轴线(B-B)凹进的，声学匹配层被固定在压电基底与前支撑板之间，且声学匹配层的后表面被设置在压电基底的凹进前表面上；在压电基底的后表面上，切出一系列基本上平行的切口(82)，这些切口与通过压电基底的阵列轴线(A-A)垂直且切口深入进中间组件的声学匹配层，以形成多个沿着阵列轴线(A-A)排列的独立转换器元件(12)；将支撑材料(80)加到中间组件的压电基底的后表面上：以及除去前支撑板(64)以形成超声转换阵列(10)；其中可以选择压电基底(30)的前表面和各个转换元件(12)的声学匹配层(24)的凹进形状，以将这些转换器元件机械聚焦到一个与阵列轴线(A-A)垂直的平面中。
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