[发明专利]具有混合驱动的微型机械继电器

摘要

微型机械继电器有一个由衔铁基体（５２）腐蚀出来的舌簧状衔铁（５３），此衔铁（５３）与衔铁基体弹性连接，它与一个在它下面的基座（５１）的基座电极（５８）构成了一种静电驱动。此外，在衔铁（５３）上设有压电层（６０），它起弯曲变换器的作用，并构成一种附加的驱动。当在衔铁（５３）的电极、基座（５１）的电极和压电层（６０）的电极上施加一个电压时，衔铁被吸在此基座上，并因而在至少一个触头（５５、５６）闭合的情况下，衔铁大面积地贴靠在此基座上。此时，静电驱动和压电驱动的不同特性线叠加在一起，所以，既能在衔铁运动开始时产生一个大的吸引力，又能在衔铁吸住后产生一个大的接触力。

主权项

1.微形机械的继电器，它有一个基座(51)，基座上有一个扁平的基座电极(58)和至少一个固定的静触头(56)；有一个设在基座(51)上的衔铁基体(52)，该衔铁基体(52)可以由一种可选择地腐蚀的材料制成并且由此衔铁基体至少腐蚀出一个单侧与其相连的舌簧形式的衔铁(53)，衔铁(53)有一个与基座电极(58)相对的衔铁电极(57)以及有一个与静触头(56)相对的衔铁触头(55)，衔铁上在它与衔铁基体(52)和与衔铁触头(55)连接部位之间具有一个易弯曲区，因此，在衔铁电极(23、57)和基座电极(11、58)之间施加一个电压时，衔铁被吸在基座上；以及有设在基座(51)和衔铁基体(52)上通往电极(57、58)、触头(55、56)和压电层(60)的电引线，其特征在于，衔铁(53)在至少上述易弯曲区的一部分上设有一个起弯曲变换器作用的压电层(60)，在激励时，它的弯曲力增强了基座电极与衔铁电极之间的静电吸引力。