[发明专利]环境控制系统无效
| 申请号： | 94191417.8 | 申请日： | 1994-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1119040A | 公开（公告）日： | 1996-03-20 |
| 发明（设计）人： | R·M·詹科;G·A·马维尔;D·米勒;G·K·蒙特 | 申请（专利权）人： | 聪明附件公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京,林长安 |
| 地址： | 美国乔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种环境控制系统(10)，包括与制造或加工半导体或其它产品的气氛调节设备(18)相连的组合式隔离室(14)。工件以及加工或其它机械(28)与房间里放置的其它物品隔离，房间中有许多部分不需要净化。使用可移动的组合室也可增强对微粒污染物的控制并且可对一个房间内的不同加工环境单独进行调节。其它种类的室适于给工件提供混合的垂直层流(VLF)和水平层流(HLF)。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种具有底部的组合式室，包括：多个流体供给装置、用于控制从供给装置流经使用垂直和水平气流镶板的该室的混合流体流的装置、该室内的产品贮存区和位于底部的流体排放口。
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