[发明专利]用于光刻胶的防反射涂料组合物及在基片上制作图象的方法无效

专利信息
申请号: 94193743.7 申请日: 1994-10-12
公开(公告)号: CN1041243C 公开(公告)日: 1998-12-16
发明(设计)人: S·扎恩;R·方克 申请(专利权)人: 科莱恩金融(BVI)有限公司
主分类号: G03F7/09 分类号: G03F7/09
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 樊卫民
地址: 英属维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于光刻胶的防反射涂料组合物和利用这种涂料组合物在基片上制作图像的方法,此涂料的折射指数为自大于约1.20至约1.40,它能以单个四分之一波长厚度使用,并能用下层光刻胶的显影剂来除去;此涂料组合物包含含有下列单元的共聚物$$$式中X为CO2L,SO3L,)H,CO(OC2H4)XOH,CONHC(CH3)2CH2#O&SO3L,PO3L2或CONH2,式中L=H,Ⅰ族或Ⅱ族阳离子或NH4+,而X=0—10,$$$式中Y是氟或含氟脂族有机取代基,优选选自$COO(CH2)X(CF2)nCF3,$SO2O(CH2)X(CF2)nCF3$SO2(OC2H4)XO(CH2)X(DF2)nCF3,$CO(OC2H4)XO(CH2)X(CF2)nCF3或$CO(OCH-CH2)XO(CH2)X(CF2)nCF3$_____CH2Cl$其中脂族链可以是支化的或不支化的;$式中R=H,卤素,CF3,C1-C8烷基或CN;n=0—14;及X=0—10
搜索关键词: 用于 光刻 反射 涂料 组合 基片上 制作 图象 方法
【主权项】:
1.一种用于光刻胶的水溶的防反射涂料组合物,此涂料的折射指数为自大于1.20至1.40,此涂料组合物包含含有下列单元的共聚物:a)式中X是CO2L,SO3L,OH,CO(OC2H4)xOH,CONHC(CH3)2CH2SO3L,PO3L2或CONH2,此处L=H,I族或II族阳离子或NH4+,以及X=0-10,b)式中Y是氟或含氟脂族有机取代基,式中R=H,卤素,CF3,C1-C8烷基或CN。
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