[发明专利]具有原子分辨率的精密定位装置无效
| 申请号： | 94195165.0 | 申请日： | 1994-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1054431C | 公开（公告）日： | 2000-07-12 |
| 发明（设计）人： | G·K·比宁;W·黑贝尔利;H·罗雷尔;D·P·E·史密斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G01N27/00;H02K57/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 董巍,董江雄 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种精密定位装置，其包括感应致动器（２，３）。与公知的感应致动器所得到的１μｍ精度相比，其定位精度远低于１ｎｍ。在优选实施例中，磁致动器的移动由机械装置（５，６，３５）进行限制或减小，这样就要增加移动致动器所需的电流的量。该精密定位器可以在扫描探头显微镜技术领域中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 原子 分辨率 精密 定位 装置 | ||
【主权项】：
1.一种精密定位装置，具有一个致动装置，供以100纳米至0.01纳米之间的原子分辨率改变探头装置与样品保持装置之间的相对位置，所述致动装置包括：一个管状线圈和磁装置，两者在预定移动范围内彼此相对移动，所述磁装置的其中一个磁极位于一个纵向元件的一端，该元件与所述端一起延伸入所述管状线圈的空腔中；和一个机械装置，靠所述管状线圈与所述磁元件彼此的相对运动动作，从而增加所述致动装置在所述磁装置与所述管状线圈相对移动过程中消耗的能量。
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