[实用新型]双单臂压电驱动微调样品台无效
| 申请号： | 94211264.4 | 申请日： | 1994-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN2206455Y | 公开（公告）日： | 1995-08-30 |
| 发明（设计）人： | 田嘉禾;王世亮;戴松涛;金雷 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N1/00 | 分类号： | G01N1/00 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种双单臂压电驱动微调样品台。该样品台由外框架和二根单臂组成。单臂与外框架通过固定支点相联，二根单臂之间通过柔性铰链分别与样品台相联。每根单臂为一成直角形的弹性金属框架，直角顶点处置有柔性铰链。弹性金属框架上粘有供驱动用的压电陶瓷片。本实用新型设计的样品台外形小，位移量较大。 | ||
| 搜索关键词： | 双单臂 压电 驱动 微调 样品 | ||
【主权项】：
1、一种双单臂压电驱动微调样品台，其特征在于样品台由外框架和二根单臂组成；单臂与外框架通过固定支点相联；二根单臂之间通过柔性铰链分别与样品台相联；每根单臂为一成直角形的弹性金属框架，直角顶点处置有柔性铰链；弹性金属框架上粘结有供驱动用的压电陶瓷片。
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