[实用新型]一种膜层热膨胀系数测试仪无效
| 申请号： | 94212993.8 | 申请日： | 1994-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN2196301Y | 公开（公告）日： | 1995-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘军海;何家文;苏启生;陆明珠 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 西安交通大学专利事务所 | 代理人： | 田文英 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种测量技术领域的膜层热膨胀系数测试仪，它包括样品室、调节试样架、电加热器、测温热电偶，防震工作台以及测量机构。调节试样架的X、Y、Z轴分别由三台电机带动，Z轴装于机架下部。电加热器和测温热电偶以及X、Y轴的电机分别固定于保温材料制成的箱体上，测量机构由两根石英测杆及中部的差动电容组成双微位移测量机构。本仪器可实现微米级或亚微米级膜层热膨胀系数的高精度测量，其分辨率可达0.1nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热膨胀 系数 测试仪 | ||
【主权项】：
1、一种膜层热膨胀系数测试仪，它包括样品室、调节试样架、电加热器、测温热电偶、防震工作台以及测量机构，其特征在于：所述的样品室为保温材料制成的箱体，所述的调节试样架由X、Y、Z轴组成三维座标，并分别用三只电机带动，Z轴装于所述的机架下部，所述的电加热器和测温热电偶以及X轴、Y轴的电机分别固定于样品室的箱体上。所述的测量机构由两根石英测杆及其中部的差动电容组成双微位移测量机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/94212993.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
