[实用新型]真空镀膜设备中的速抽式真空系统无效
| 申请号： | 94214658.1 | 申请日： | 1994-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN2206299Y | 公开（公告）日： | 1995-08-30 |
| 发明（设计）人： | 于书吉;王永光;粟达人;张厚先 | 申请（专利权）人： | 北京科智达技术发展公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 真空镀膜设备中的速抽式真空系统属真空获得技术领域，是一种速抽式真空系统。它采用具有嵌入式电热器的直热式扩散泵与前级泵组成的真空系统，可实现利用前级泵抽低真空的时间来完成直热式扩散泵的预热升温，大大缩短于抽真空所需的时间，在镀膜设备中有着很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 中的 速抽式 真空 系统 | ||
【主权项】：
1、一种由前级泵和直热式扩散泵组成的真空镀膜设备中的速抽式真空系统，其特征在于：直热式扩散泵[10]是由带散热翼翅的电热管组成的嵌入式电热器[5]，直接加热扩散泵油，并由调压器或可控硅控制其加热功率，实现真空系统的加速预热的。
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